Проведение модернизации установок ЭМ-576А

На установках проводятся необходимые ремонтно-восстановительные работы, техническое обслуживание механических и оптических узлов.

Система управления установки и ее механизмы, пульт оператора, блок питания лампы ДРШ-350, источники питания установки - используются новые, разработанные на основе современных комплектующих (максимально используются стандартизованные узлы).

Для упрощения технического сопровождения будет использоваться удаленная связь с подключением к системе управления установки.

После выполнения всех работ основные технические и эксплуатационные характеристики установки соответствуют паспортным требованиям, а размер минимального лемента изображения фотошаблона на полупроводниковой пластине приблизится к 1 мкм.

Наши услуги

Микроскопы

Прочее оборудование

Оборудование для
разделения и подготовки
кристаллов к сборке

Оборудование для
зондового контроля

Оптико-механическое
оборудование