ЭМ-6010 Зондовая установка
Предназначена для обеспечения электрического контакта цепей измерителя с контактными площадками кристаллов на пластине
при межоперационном контроле электрических параметров микросхем и полупроводниковых приборов.
Диаметр полупроводниковых пластин — 60мм, 76мм, 100м
Может быть доработана для пластин диаметром — 150мм
Погрешность перемещения координатного стола — 0.02мм
Максимальный размер отпечатка зонда
на контактной площадке — 0,04 мм
Оборудование для
разделения и подготовки
кристаллов к сборке
Оборудование для
зондового контроля
Оптико-механическое
оборудование