ЭМ-586 установка двухстороннего совмещения и экспонирования

Описание

Характеристики

Установка с проведенным техническим обслуживанием и восстановлением оптико-механических узлов, с оригинальной системой управления. Может быть поставлена с новой системой управления, с новым блоком питания установки и с новыми блоком питания ламп ДРШ, электронные узлы разработаны на основе стандартизированных современных комплектующих-контроллеров, ЖК панелей, блоков питания и др.

Диаметр полупроводниковых пластин — 40мм, 50мм, 60мм, 76мм, 100мм
Толщина полупроводниковых пластин — 0,2....0,3мм
Размер минимального элемента изображения — 4 мкм
Неравномерность освещенности рабочего поля — 10 %
Погрешность совмещения элементов
фотошаблона и полупроводниковой пластины — 2 мкм
Линейное увеличение микроскопа — 46....225*

+375 29 816 53 26

+7 911 356 58 37

Заказать звонок

Наши услуги

Микроскопы

Прочее оборудование

Оборудование для
разделения и подготовки
кристаллов к сборке

Оборудование для
зондового контроля