ЭМ-565А установка двухстороннего совмещения и экспонирования

Описание

Характеристики

Установка с проведенным техническим обслуживанием и восстановлением оптико-механических узлов, с оригинальной системой управления. Может быть поставлена с новой системой управления, с новым блоком питания установки и с новыми блоком питания ламп ДРШ, электронные узлы будут разработаны на основе стандартизированных современных комплектующих-контроллеров, ЖК панелей, блоков питания и др. По согласованию, установка может быть доработана в соответствии техническими требованиями заказчика.

Максимальный размер рабочего поля — 78 * 95мм
Неравномерность освещенности рабочего поля размером — 80*100мм-менее 15%
Погрешность совмещения элементов фотошаблонов
при экспонировании на подложку — не более 0.01 мм
Минимальный элемент изображения фотошаблона на подложку размером — 50мкм

+375 29 816 53 26

+7 911 356 58 37

Заказать звонок

Наши услуги

Микроскопы

Прочее оборудование

Оборудование для
разделения и подготовки
кристаллов к сборке

Оборудование для
зондового контроля