Характеристики

Установка с проведенным техническим обслуживанием и восстановлением оптико-механических узлов, электрическая часть установки в оригинальном исполнении. Может быть установлена новая система управления, с новым блоком питания установки и с новым блоком питания лампы ДРШ. По согласованию, установка может быть доработана в соответствии с техническими требованиями аказчика.

Диаметр полупроводниковых пластин — 40мм, 60мм, 76мм, 100мм
Толщина полупроводниковых пластин — 0,3....0,525мм
Фотолитографический предел разрешения — 0,3 - 1 мкм
Неравномерность освещенности рабочего поля — 3….5%
Погрешность совмещения элементов
фотошаблона и полупроводниковой пластины — ± 0,1 мкм

Наши услуги

Микроскопы

Прочее оборудование

Оборудование для
разделения и подготовки
кристаллов к сборке

Оптико-механическое
оборудование

Оптико-механическое
оборудование