ЭМ-5006А установка совмещения и экспонирования

Описание

Характеристики

Установка с проведенным техническим обслуживанием и восстановлением оптико-механических узлов, с новой системой управления, с новым блоком питания установки и с новым блоком питания лампы ДРШ. Электронные узлы разработаны на основе стандартизированных современных комплектующих-контроллеров, ЖК панелей, блоков питания и др. По согласованию, установка может быть доработана в соответствии с техническими требованиями заказчика.

Диаметр полупроводниковых пластин — 60мм, 76мм, 100м
Толщина полупроводниковых пластин — 0,3...0,525мм
Размер минимального элемента изображения — не более 1 мкм
Неравномерность освещенности рабочего поля — 5 %
Погрешность совмещения элементов
фотошаблона и полупроводниковой пластины — ± 0,25 мкм
Линейное увеличение микроскопа — 46....225*

Наши услуги

Микроскопы

Прочее оборудование

Оборудование для
разделения и подготовки
кристаллов к сборке